Product features withstand severe conditions such as
high pressure, high temperature, ultra-high vacuum ,and cryogenic temperature.
It is mainly used in “mass flow controllers,”
precision machines for semiconductor process equipment.
製品の最大の特徴として、高圧、高温、超高真空、極低温などの過酷な条件に耐えることができます。
主に「マスフローコントローラー」、「半導体プロセス装置用精密機械」等に使用されています。
Metal Hollow Seals
Spring Energized Seals
Metal Flat Seals